【MPCVD培育鉆石】HMPS-2080SP微波等離子體(CVD)系統(tǒng)

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所在地成都市
更新時(shí)間2023-09-05

成都沃特塞恩電子技術(shù)有限公司

廠商性質(zhì)其他
所在地區(qū)成都市
實(shí)名認(rèn)證已認(rèn)證
產(chǎn)品數(shù)量51
人氣值953

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公司介紹主營產(chǎn)品

自成立以來，沃特塞恩持續(xù)開發(fā)了覆蓋ISM頻段的全系列固態(tài)功率源產(chǎn)品，以不斷迭代升級的高性能產(chǎn)品工業(yè)領(lǐng)域固態(tài)功率源產(chǎn)品市場的空白。在持續(xù)深耕ISM領(lǐng)域應(yīng)用的過程中，沃特塞恩聯(lián)合公司旗下?lián)碛胸S富等離子體技術(shù)開發(fā)經(jīng)驗(yàn)的紐曼和瑞微波技術(shù)有限公司，開發(fā)了基于固態(tài)微波源的微波等離子體化學(xué)氣象沉積（MPCVD）裝備、遠(yuǎn)程等離子設(shè)備（RPS），賦能高品質(zhì)碳材料制備產(chǎn)業(yè)，半導(dǎo)體材料刻蝕和清洗等產(chǎn)業(yè)并實(shí)現(xiàn)國產(chǎn)化替代。目前沃特塞恩產(chǎn)品已實(shí)現(xiàn)多產(chǎn)業(yè)應(yīng)用布局，涉足應(yīng)用包括材料制備，等離子體光源，半導(dǎo)體干法刻蝕、去膠設(shè)備，半導(dǎo)體清洗、工業(yè)微波化工、冶煉、加熱、干燥，射頻解凍，腫瘤微波消融、熱療和理療、等離子體美容等醫(yī)療設(shè)備、以及科研和醫(yī)療粒子加速器、ECR離子源等應(yīng)用。沃特塞恩團(tuán)隊(duì)始終堅(jiān)持以科技創(chuàng)新為主的發(fā)展方向，不斷加強(qiáng)產(chǎn)品研發(fā)創(chuàng)新、夯實(shí)生產(chǎn)管理能力、嚴(yán)格把控產(chǎn)品質(zhì)量，立志做的產(chǎn)品，創(chuàng)的品牌，成為值得客戶托付信賴的合作伙伴！

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產(chǎn)品簡介在線詢價(jià)

【MPCVD培育鉆石】HMPS-2080SP微波等離子體(CVD)系統(tǒng) HMPS-2080SP的微波等離子體CVD設(shè)備是一款多用途、高性能的適用于高品質(zhì)金剛石及多種碳基材料制備的綜合實(shí)驗(yàn)和產(chǎn)業(yè)化設(shè)備，該設(shè)備可提供2英寸的金剛石材料生長能力。. 采用沃特塞恩第三代高穩(wěn)定固態(tài)功率源；新一代大容積圓柱型水冷放電腔。. 性能*，安全、可靠性強(qiáng)、重現(xiàn)性好，操作簡便。. 多參數(shù)......

【MPCVD培育鉆石】HMPS-2080SP微波等離子體(CVD)系統(tǒng) 產(chǎn)品詳情

技術(shù)參數(shù)

（1）	型號	HMPS-2080SP
（2）	電源	AC380±10% V 三相五線制 50Hz，額定輸入＜18KVA
（3）	微波輸出功率	0.1~8kW 連續(xù)可調(diào)
（4）	功率穩(wěn)定度	1%（@穩(wěn)態(tài)）
（5）	紋波	≤1%
（6）	微波頻率	2450MHz±50MHz
（7）	測溫方式	紅外300~1400℃
（8）	極限真空度	≤3.7×10^-3Torr
（9）	工作壓力	5torr~225torr
（10）	放電區(qū)	Φ≥70mm
（11）	均勻沉積區(qū)	≥68mm
（12）	工作氣體	H2 /CH4 /N2 /O2 或CO2 或Ar ,可擴(kuò)展為5路
（13）	氦質(zhì)譜真空漏率	≤1.0×10-9Pa·m3/s；
（14）	工作環(huán)境	溫度15-40℃，相對濕度≤60%，無腐蝕性氣體

更多詳細(xì)參數(shù)請咨詢沃特塞恩銷售人員，獲取更詳盡的技術(shù)規(guī)格書！

應(yīng)用范圍

高品質(zhì)單晶金剛石、多晶金剛石的批量生長；

多種薄膜的CVD制備、材料表面處理和改性、低溫氧化物的生長等。

熱門產(chǎn)品

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