HAXN-2 光刻工藝生產超純水設備/全自動/旭能環保

光刻工藝生產超純水設備/全自動/旭能環保

超高純度：能生產出電阻率高達 18MΩ?cm 以上，總有機碳（TOC）含量極低，顆粒計數極少的超純水，滿足光刻工藝對水質的**要求，確保光刻膠的分辨率和精度。

穩定運行：旭能采用高品質的膜組件、泵、閥門等關鍵部件，經過嚴格的設計和測試，可長時間連續穩定供應高質量超純水，保證光刻工藝的連續性。

自動化程度高：旭能配備**的 PLC 控制系統、傳感器網絡和遠程監控系統，可實時監測和控制水質、壓力、流量、溫度等參數，實現自動運行、調節、保護和故障報警，減少人工操作和維護成本。

靈活定制：可根據不同的光刻工藝需求、生產規模和水質要求，進行模塊化設計和定制化配置，方便設備的安裝、調試和擴展。

節能環保：旭能采用節能型泵和優化的工藝流程，降低能耗；同時，一些設備采用的 EDI 技術減少了酸堿廢水的排放，符合環保要求。

定期更換耗材：預處理的精密過濾器、活性炭過濾器的濾芯以及終端的微孔濾膜等需定期更換，如精密過濾器的 PP 濾芯 3-6 個月更換一次。

監測膜和樹脂性能：定期監測反滲透膜的脫鹽率和水通量，通過測量進水和產水的電導率評估；離子交換樹脂飽和后要進行再生或更換。

清潔與更換殺菌部件：紫外線殺菌單元中的燈管使用壽命一般為 8000-10000 小時，到期需更換，同時要清潔石英套管，保證紫外線透過率。