| | HS1.30 APERTURE | HS1.50 APERTURE | HS1.70 APERTURE |
| 運(yùn)動(dòng)范圍（µm） | 30 | 50 | 70 |
| 分辨率（nm） | 0,03 | 0,05 | 0,07 |
| 典型的噪聲基準(zhǔn)（nm） | 0,003 | 0,005 | 0,007 |
| 全范圍重復(fù)性（nm） | 0,06 | 0,1 | 0,14 |
| 線(xiàn)性化（典型的） | 0,02% | 0,02% | 0,02% |
| 諧振頻率（hz) | 4000 | 4000 | 4000 |
| 剛度 (N/µm) | 3 | 3 | 3 |
| 負(fù)載（kg）-水平使用 | 1 | 1 | 1 |
| 負(fù)載（kg）-垂直使用 | 0,5 | 0,5 | 0,5 |
| 傳感器 | Silicon HR sensor | Silicon HR sensor | Silicon HR sensor |
| 尺寸：W x L x H (mm) | 62,5 x 96,10 x 12,6 | 62,5 x 116,10 x 12,6 | 62,5 x 138,10 x 12,6 |
| 材料 | Al | Al | Al |
| 電纜長(zhǎng)度（m） | 2 | 2 | 2 |
| 推薦控制器 | Standard or High Speed | Standard or High Speed | Standard or High Speed |
