Diener Tetra 100 等離子系統

Tetra 100 等離子系統能夠以不同的形式進行整合，例如以模塊系統的形式。在下文中您可以大致了解能夠與 Tetra 100 等離子系統一同使用的見的選裝件。Tetra 100 等離子系統主要應用于以下領域：

• 分析 (REM, TEM)

• 考古

• 汽車行業

• 生物技術

• 彈性體技術

• 電子技術

• 電子顯微鏡

• 精密工程

• 研究和開發

• 半導體技術

• 小批量生產

• 塑料技術

• 醫療技術

• 微系統技術

• 太陽能電池技術

• 紡織技術

基本設備

• 根據具體組件/選裝件，外殼規格會有所不同

• 腔室容積：根據具體版本，分為 80 - 100 升

• 供電電源： 230 V 或者 400 V / 3 相位

氣源

• 質量流量控制器 (MFCs)

真空腔室

• 圓形不銹鋼件，配有鉸鏈的門
  （約 ∅ 400 mm、長 625 mm）

• 矩形不銹鋼件，配有鉸鏈的門
  （約寬 400 mm x 高 400 mm x 深 625 mm）

裝載件

• 產品支架（選項：水冷型）、石英玻璃舟皿、粉末轉鼓、散裝件轉鼓、鋁板、不銹鋼板、硼硅玻璃、石英玻璃

電極

• 單層或多層

• 具有氣體噴淋的 RIE 電極

控制系統

• PCCE 控制系統 (MicrosoftWindows CE)

• PC 控制系統 (Microsoft Windows POS Ready 2009)

壓力測量

• Pirani

• Baratron（適用于腐蝕性氣體版本）

計時器

• 數字型

發生器

所有發生器均為 0 - 99% 無級可調型

真空泵

• 規格和制造商均各有不同（按照活性炭過濾器的需要）

其他選項

備件套件、壓力計、腐蝕性氣體設計結構、氣瓶、減壓器、加熱板、溫度顯示器、加熱型腔室、Faraday Box、等離子體聚合配件、測試墨水、 氧氣發生器、慢速通風裝置、慢速抽吸裝置、TEM樣品架法蘭、維護/服務、當地語言的文件、現場安裝，包括培訓。可應要求提供的其他選項。