吉時(shí)利 Keithley 6517B 靜電計(jì) 高阻表

吉時(shí)利6517B電阻計(jì)：

微弱電流能力

分辨率 10 aA（10?1? A），輸入偏置電流＜3 fA，噪聲僅 0.75 fA p-p，最小電流量程輸入端壓降＜20 µV，幾乎不擾動(dòng)被測(cè)微弱回路。

1. 超寬電阻量程

   電阻測(cè)量覆蓋 10 Ω ~ 101? Ω，覆蓋導(dǎo)體、半導(dǎo)體、超高絕緣介質(zhì)全區(qū)間；搭配 ±1kV 內(nèi)置高壓源，可做擊穿、漏流、高低壓變壓掃描測(cè)試。

2. 高精度多模式測(cè)量

   支持 5?/6? 位雙精度模式；同時(shí)測(cè)電流、電壓、電荷、電阻；內(nèi)置 K 型熱電偶測(cè)溫、可選濕度探頭，讀數(shù)自帶溫濕度標(biāo)記。

3. 自動(dòng)化與高速采集

    425 讀數(shù) / 秒，內(nèi)置 50000 點(diǎn)數(shù)據(jù)緩存；標(biāo)配 GPIB (SCPI)+RS232，可選多通道掃描卡擴(kuò)展至多 10 路樣品同步測(cè)試。

4. 內(nèi)置專用測(cè)試序列

   出廠預(yù)存：體電阻率、表面電阻率、表面絕緣電阻 SIR、器件漏流、電容漏電、電壓掃描擊穿測(cè)試，一鍵啟動(dòng)標(biāo)準(zhǔn)化測(cè)試流程。

5. 電壓反轉(zhuǎn)算法

   交替極性加壓測(cè)量，抵消絕緣材料表面電荷、接觸電勢(shì)帶來的基線漂移，大幅提升超高阻材料長(zhǎng)期測(cè)量穩(wěn)定性。

三、完整技術(shù)參數(shù)指標(biāo)（標(biāo)準(zhǔn)規(guī)格，18~28℃、1 年精度保證）

（一）電流測(cè)量（I）

1. 量程：100 fA ~ 20 mA，分 8 檔；最小分辨率 10 aA

2. 輸入偏置電流：＜3 fA（23℃典型），溫度系數(shù) 0.5 fA/℃

3. 輸入噪聲：0.75 fA 峰峰值（量程）

4. 輸入端壓降（最小量程）：＜20 µV

5. 精度（代表量程，6? 位、1PLC 濾波）：

• 1 nA 檔：±(0.06% 讀數(shù) + 50 aA)

• 1 µA 檔：±(0.04% 讀數(shù) + 4 pA)

• 1 mA 檔：±(0.06% 讀數(shù) + 0.4 µA)

6. 帶寬：前置輸出典型 100kHz (-3dB)

（二）電壓測(cè)量（V）

• 共模抑制 CMRR：直流＞120dB；50/60Hz＞120dB

• 常態(tài)模抑制 NMRR：2V/20V＞60dB；200V＞55dB

（三）電荷測(cè)量（Q）

• 2 nC 檔精度：±(0.4% 讀數(shù) + 5 fC)

• 2 µC 檔精度：±(0.4% 讀數(shù) + 5 pC)

• 電荷泄漏時(shí)間常數(shù) RC 典型 300000，長(zhǎng)時(shí)測(cè)量自動(dòng)補(bǔ)償漏電偏移

（四）電阻測(cè)量（R）

1. 測(cè)量區(qū)間：10 Ω ~ 101? Ω

2. 測(cè)量方式：內(nèi)置源表法（±1kV 內(nèi)置電壓源輸出）、電壓反轉(zhuǎn)交替極性模式

3. 高阻模式自動(dòng)切換：1012Ω 以上自動(dòng)開啟低電流、降噪濾波，適配絕緣薄膜、陶瓷、高分子材料

（五）內(nèi)置可編程電壓源

• 輸出范圍：±1000 V，連續(xù)可調(diào)，支持線性 / 階梯電壓掃描

• 步進(jìn)精度：1 mV，可設(shè)定上升 / 保持 / 下降時(shí)序，用于擊穿、耐壓、漏流老化測(cè)試

• 輸出電流：1 mA

（六）溫濕度采集

• 標(biāo)配 K 型熱電偶輸入：-25℃ ~ +150℃，精度 ±(0.3% 讀數(shù) + 1.5℃)

• 可選濕度探頭：實(shí)時(shí)記錄相對(duì)濕度，溫濕度數(shù)據(jù)隨讀數(shù)同步存儲(chǔ)

（七）采集與存儲(chǔ)

• 讀數(shù)速率：425 次 / 秒（內(nèi)部緩存），400 次 / 秒（GPIB 上傳）

• 內(nèi)部緩存：50000 組讀數(shù)，每組附帶測(cè)量值、時(shí)間、溫度、濕度

• 顯示：5?/6? 位數(shù)字 LED，同時(shí)顯示主讀數(shù) + 溫濕度 / 電阻率單位

（八）通訊接口

• 標(biāo)準(zhǔn)：IEEE488 GPIB（SCPI 協(xié)議）、RS-232 串口

• 擴(kuò)展：主機(jī)插槽可選插卡，最多擴(kuò)展 10 通道多路掃描測(cè)量

（九）環(huán)境與機(jī)械規(guī)格

1. 工作溫度：0℃ ~ 50℃；校準(zhǔn)參考溫區(qū) 18~28℃

2. 存儲(chǔ)溫區(qū)：-20℃ ~ 70℃

3. 濕度：20%~80% RH（無凝露）

4. 尺寸：標(biāo)準(zhǔn)機(jī)架 1/2 機(jī)架，44mm 高 ×213mm 寬 ×348mm 深

5. 供電：100~240V AC 50/60Hz

四、典型應(yīng)用領(lǐng)域

1. 材料科學(xué)

   高分子絕緣材料、陶瓷介質(zhì)、納米薄膜、復(fù)合材料體電阻率 (Ω?cm)、表面電阻率 (Ω/□)、SIR 表面絕緣電阻，符合 ASTM D257 標(biāo)準(zhǔn)測(cè)試；

2. 半導(dǎo)體與微電子

   MOS 器件柵極漏流、光電探測(cè)器暗電流、電容介質(zhì)漏電、PCB 絕緣阻抗、芯片封裝漏電；

3. 光電與光學(xué)

   光電二極管、光電倍增管微弱光電流、輻射劑量檢測(cè)、光束微弱離子電流；

4. 電化學(xué) / 生物測(cè)量

   高阻抗離子電極、pH 電極、生物細(xì)胞微弱離子通道電流；

5. 工業(yè)可靠性測(cè)試

   電纜絕緣耐壓擊穿、高壓器件漏電流老化、絕緣材料高低溫濕熱可靠性測(cè)試；

6. 基礎(chǔ)物理科研

   離子束、放射性微電流、靜電電荷積累、超高阻抗介質(zhì)電學(xué)表征。

五、配套標(biāo)準(zhǔn)配件

1. 8009 三電極電阻率測(cè)試夾具（ASTM D257 標(biāo)配，測(cè)體 / 表面電阻）

2. 低噪聲三同軸測(cè)試電纜（屏蔽保護(hù)端，降低外界干擾）

3. KickStart PC 軟件：自動(dòng)化電阻率、漏流掃描測(cè)試，數(shù)據(jù)導(dǎo)出繪圖

4. 可選：多路掃描插卡、溫濕度探頭、高壓測(cè)試治具

5.