setra西特227高純氣體壓力傳感器常用型號 Setra西特227是一款專為高純氣體場景設計的電容式壓力傳感器,適配半導體300mm工藝設備的高密度模塊化氣體棒與面板,主打長期穩定性、高精度227G025PAE52CB1F,227G025PAE52CD1J,227G025PAE52CD9J,227G100PAE52CD1F,227G100PAE52CD1J,227G100PAE52CD1M,227G100PAE52CD1M2,227G100PAE72CD1M,227G100PCE52CD9F,227G100PCE533D9F,227G10CTAE72CD1M,227GZ02PCE5ZZZZFT2,227GZ02PCE5ZZZZFT3,227GZ02PCE5ZZZZFV1
setra西特227高純氣體壓力傳感器常用型號 核心材質與結構
•所有接液部件采用?316L VIM/VAR不銹鋼?,電解拋光至5 Ra-7 Ra,大幅減少微粒吸附與殘留。
•采用小型可吹掃傳感腔設計,死區體積極小,避免氣體滯留與交叉污染,氦泄漏率可達1×10?? ATM·CC/sec級別。
•1-1/8英寸緊湊型底座,搭配C型/W型密封下裝式接口,適配高密度氣體模塊布局。
2. 關鍵性能參數
•測量精度:±0.25% FS 或 ±1.0% 讀數,遲滯0.20% FS、重復性0.02% FS,長期漂移低。
•支持表壓、絕壓、復合壓三類測量模式,量程覆蓋0~25psi至0~3000psi,復合壓可實現-14.7~25psi及以上范圍。
•工作溫度范圍-40℃~+85℃,寬溫適應性強,抗EMI/RFI電磁干擾,避免工業環境下誤停機。
3. 輸出與接口配置
•可選5 VDC、10 VDC電壓輸出,或4~20mA電流輸出,其中4~20mA版本具備不易燃認證,可用于潛在危險區域。
•電氣連接支持多芯電纜、4針卡口接頭、9針/15針D-sub接頭,適配不同工業系統接線需求。
•零點與量程調節裝置位于旋轉保護罩側面,方便現場校準,可搭配328型1-1/8英寸旋轉顯示屏實現本地壓力直讀。
4. 典型應用場景
•核心用于半導體晶圓廠高純氣體輸送分配系統、刻蝕/沉積等工藝腔室壓力閉環控制。
•也適配平板顯示、光伏新能源的高潔凈度氣體供應系統,以及生物制藥、特種氣體實驗室的高純流體壓力測量。