表面涂層綜合性能評價試驗機（MSE微粒噴漿沖蝕法）
微粒噴漿沖蝕MSE方法
使用恒定的固體微粒對材料表面進行沖蝕，材料磨損量隨表面強度而改變。MSE試驗機將磨損量的變化轉換成磨損率，來評估和對比各種材料表面強度。
適用范圍：涂層、鍍層、鍍膜
涂層強度 （可檢測多級涂層強度數值化）
復合涂層厚度（可分層檢測多涂層）
涂層間、涂層與基體結合力
通過對膜的檢測。評價鍍膜工藝性能
涂層均勻度
表面涂層綜合性能評價試驗機（MSE微粒噴漿沖蝕法）的特點
1、MSE是市場上采用全新方法評估涂層材料的試驗機。
2、MSE是市場上可以評估堅硬涂層的試驗機，對堅硬涂層具有高分辨能力，可對多種堅硬涂層進行評估，如TiN，DLC（類金剛石鍍膜），CBN（立方氮化硼）和金剛石等，*了現在各種試驗機不能評估堅硬涂層的缺陷。
3、MSE也是可對多涂層進行評估的試驗機。
4、MSE微粒碰撞產生的磨損是納米級的，可在不破壞基體材料的情況下，對薄膜涂層進行評估。結合對碰撞微粒的控制，具有很好的重復性。
5、MSE評估分析時間短。漿體的高速噴射使得產生1um的磨損深度只需幾秒時間，Si晶片約3s，藍寶石約75s，TiN薄膜約350s，DLC約8000s。
產品應用(所有具有表面涂層材料篩選、研究的應用領域)
1、涂層和硬涂層材料的研發
● 切削工具和研磨工具的壽命預測，可與元素分析，劃痕測試等設備聯用。
● 硬涂層薄膜材料的研發。
● 堅硬新材料的研發領域，用于技術（飛機或火箭）的堅硬材料和耐高溫材料等。
● 薄膜制造工藝研發領域，不同的生產工藝導致薄膜質量差異，MSE使用磨損率對薄膜細微差異進行評估。
● 燒結材料制造工藝研發領域，在試制階段及時進行材料的物理和力學特性評估。
2、制造領域
● 制造設備質量波動檢測
● 間接設備維護，時常進行產品檢驗對改進和保持產品質量非常重要的。
● 質量保證
表面涂層綜合性能評價試驗機（MSE微粒噴漿沖蝕法）的示例
表面涂層綜合性能評價試驗機（MSE微粒噴漿沖蝕法）各種材料的摩損率等級
MSE測量的技術參數
| | MSE-S | MSE-A | MSE-B |
| 基本規格 |
| 構造 | 磨損處理系統 | 磨損處理系統 | 磨損處理系統 |
| | - | 樣品清洗單元 | - |
| | - | 自動測量系統 | - |
| | - | 數據處理系統 | - |
| 測試規格 |
| 樣品尺寸 | 30mm×t10mm | 30mm×t10mm | 30mm×t10mm |
| 磨損面積 | 1mm | 1mm | 2mm |
| 顆粒類型 | 平均直徑1.2μm（WA8000） | 平均直徑1.2μm（WA8000） | 平均直徑1.2μm—100μm |
| 漿體密度 | 3wt%（恒定） | 3wt%（恒定） | zui大 5wt% |
| 漿體罐容量 | 1L | 1L | 1L |
| 噴射角度 | 90°（恒定） | 90°（恒定） | 60°～90°噴射過程中恒定 |
| 噴射分辨率 | 0.5g | 0.5g | 0.5g |
| 連續測量的準確度 | ±8% | ±8% | ±8% |
| 測量部分參數 |
| 方法 | - | 垂直掃描 干涉儀形貌測量 | - |
| 面積 | - | 1330×1760μm | - |
| 深度 | - | 20μm | - |
| 分辨率 | - | 20nm | - |
| 主體參數 |
| 尺寸 | W700×d530×h610 | W1100×d500×h650 | W600×d550×h650 |
| 測量控制部分 | - | W550×d550×h580 | - |
| 屏幕 | - | W400×d200×h400 | - |
| Utility |
| 電源 | 100v 0.8kva | 100v 1kva | 100v 0.8kva |
| 氣源 | 干燥空氣（0.55 mpa 以上）
15L/min
（ANR 0.4kw 相當） | 干燥空氣（0.55 mpa 以上）
15L/min
（ANR 0.4kw 相當） | 干燥空氣（0.55 mpa 以上）
15L/min
（ANR 0.75kw 相當） |
| 其他 | 空氣和水廢液 | 水源，空氣和水廢液 | 空氣和水廢液 |
