VMS金屬墊片面密封接頭：超高純密封助力半導(dǎo)體精密制造

隨著半導(dǎo)體、生物化學(xué)等領(lǐng)域?qū)に嚰兌鹊囊蟛粩嗵嵘?，精密流體系統(tǒng)中的連接件正承擔(dān)著越來越重要的角色。沅亨（JPE）推出VMS金屬墊片面密封接頭系列，為高純度氣體和流體輸送提供高等級密封解決方案。

金屬對金屬密封，高等級泄漏控制

VMS全稱為Vacuum Metal Seal，工作原理是通過內(nèi)外螺紋螺母的接合，使金屬墊片在兩邊的凸緣壓緊下產(chǎn)生變形，從而實現(xiàn)金屬對金屬的硬密封。在JPE廠內(nèi)氦氣泄漏測試中，使用無鍍銀墊片時最大泄漏率達(dá)到4.1×10?11 mbar·l/s，鍍銀墊片測試結(jié)果為4.1×10?? mbar·l/s，可覆蓋從真空負(fù)壓至正壓范圍內(nèi)的無泄漏服務(wù)需求。

精密表面處理，高純應(yīng)用適配

VMS接頭的接管及本體均經(jīng)過精密表面處理，標(biāo)準(zhǔn)拋光等級達(dá)到Ra 0.25μm。較低的表面粗糙度可減少顆粒和雜質(zhì)的附著，有利于高純系統(tǒng)的吹掃與維護(hù)。

雙測試端口設(shè)計，便捷泄漏檢測

VMS自帶兩個測試端口，用戶無需拆卸系統(tǒng)即可直接進(jìn)行泄漏測試，有助于簡化設(shè)備的安裝驗收與定期維護(hù)流程。

全程可追溯，質(zhì)量管控有保障

每個VMS接頭均標(biāo)記了制造商、材料牌號及制程可追溯號碼。從原材料到制造工序，產(chǎn)品質(zhì)量具備完整的可追溯性，為半導(dǎo)體等行業(yè)的質(zhì)量管控提供支持。

內(nèi)螺紋鍍銀處理，提升安裝可靠性

螺母內(nèi)螺紋采用鍍銀工藝，有效降低裝配時的摩擦系數(shù)，減少螺紋卡咬和磨損風(fēng)險。這一設(shè)計特別適用于需要反復(fù)拆裝維護(hù)的高純系統(tǒng)。

材料純凈可靠

VMS采用純凈316L不銹鋼材質(zhì)，可服務(wù)半導(dǎo)體、生物化學(xué)等高純度應(yīng)用領(lǐng)域，適用于惰性氣體、特殊氣體及高純化學(xué)品輸送等場景。

JPE研發(fā)團(tuán)隊持續(xù)專注于產(chǎn)品類別的擴(kuò)大和高精度產(chǎn)品質(zhì)量的提升。VMS系列的推出，標(biāo)志著JPE在面向半導(dǎo)體、生物醫(yī)藥等高純應(yīng)用領(lǐng)域的流體連接解決方案上邁出了重要一步。

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