流量計對半導體產業的重要性

來源：北京空港北光儀表有限公司 2026年07月30日 16:13

純水的測量與監控

半導體制造過程中需要使用大量的純水進行清洗晶圓、沖洗電子元件、蝕刻等操作，在純水處理過程中，常常需要精確地測量液體流量，如在反滲透(RO)過程中，需測量濃縮液的流速，以控制濃縮比及防止膜結垢，通過持續監測水的流速，也可監控RO設備的性能，及時發現可能的故障或異常；在去離子交換（DI）過程，會使用離子交換樹脂去除水中的離子，此時需要監測流經樹脂的水流速、反洗液體流經樹脂的速度的流速，以確保確保樹脂得到充分的接觸時間，以有效去除離子。另外，在純水制程的化學添加階段也需精準控制藥劑用量，如測量消毒劑（氯、二氧化氯、臭氧等）用量，確保水中微生物的去除作業，或是pH 調節劑用量，以確保水質穩定性。由此可見，純水處理作業對于液體流速測量，以及測量工具的耐化學性，有相應嚴苛使用標準。

| 在去離子交換(DI)過程反滲透(RO)過程，監測液體的流速可以確保純水品質，監控設備性能

實際案例：中國臺灣晶圓代工大廠

情況：該廠為專業之水處理系統規劃設計之工程公司，業務范圍包括超純水系統、廢水回收、廢水處理工程等，在純水處理的階段，因為純水不導電，無法使用常見的電磁式流量計，該公司欲選擇超聲波流量計，但是市面上常見的超聲波流量計安裝及設定步驟困難繁瑣，且需要定期補充超聲波膏，使用體驗不佳，并且在純水處理階段的作業中，該公司也需要選擇能夠精確測量液體的微小流量，并具備良好耐化學性的測量工具。

解決方案：LORRIC的超聲波流量計

我們建議該公司純水處理設備中安裝LORRIC的超聲波流量計，具備便利安裝的特性，由于能夠雙向流量測量，安裝時無須考慮液體流向；其探頭安裝軌道，利于快速安裝、精確定位，扣具使管線緊密貼合，大幅提升流量偵測準確性，能穩定偵測結果，并且具備非破壞安裝特性，能隨時卸載維修，解決了一般流量計安裝及設定步驟困難繁瑣的問題。此外，超聲波流量計借由兩個超聲波傳感器，測量接收到的超聲波的頻率來計算超聲波在液體中的傳播速度，借此達到精確測量的效能，如在反滲透（RO）設備安裝超聲波流量計，監控穿過超濾膜的高濃度水，以確保反滲透系統的穩定運行，或是在去離子交換（DI）過程，監測流經樹脂的水流速等，以達到最佳離子去除效果，LORRIC的超聲波流量計也具有良好的耐化學性，符合了該公司的需求。

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