自動(dòng)雙酸開(kāi)封機(jī)采購(gòu)調(diào)研

RKD 酸開(kāi)封機(jī)，RKD ELITE ETCH自動(dòng)雙酸開(kāi)封機(jī)酸開(kāi)封機(jī)采購(gòu)調(diào)研

 - 創(chuàng)新的軟件

- 動(dòng)態(tài)刻蝕時(shí)間調(diào)節(jié)
- 多酸沖洗選項(xiàng)
- 占地面積小

酸開(kāi)封機(jī)采購(gòu)調(diào)研美國(guó)RKD生產(chǎn)的Elite Etch是yi臺(tái)自動(dòng)混酸開(kāi)封機(jī)，通過(guò)整合了*的特點(diǎn)使得它可以獲得更高的產(chǎn)能。新開(kāi)封機(jī)的設(shè)計(jì)通過(guò)將硝酸、硫酸或混酸分配到器件上，可以更加快速和容易的打開(kāi)精細(xì)的封裝，而不會(huì)損傷樣品。

RKD Elite Etch 酸開(kāi)封機(jī)內(nèi)包含了眾多工程創(chuàng)新。整體式刻蝕頭組件是由高等級(jí)的碳化硅加工而成，可以非常的用來(lái)抵抗酸腐蝕。再加上主動(dòng)氮?dú)獗O(jiān)測(cè)和清洗系統(tǒng)，這一整體設(shè)計(jì)可以在刻蝕后降低殘留在刻蝕頭上酸的發(fā)煙—而對(duì)于其它沒(méi)如此復(fù)雜的設(shè)計(jì)則是一種常見(jiàn)現(xiàn)象。我們這種整體碳化硅選夠縮短加熱時(shí)間。

器件壓制組件（壓桿芯頭）是由手動(dòng)激活的，設(shè)計(jì)用于大量的運(yùn)動(dòng)。壓桿芯頭正常情況是縮回的，并且僅當(dāng)安全蓋*關(guān)閉后才伸出。壓桿芯頭的垂直移動(dòng)保證器件穩(wěn)定在刻蝕頭上，從而消除了無(wú)論是器件還是夾具的移動(dòng)。

酸開(kāi)封機(jī)采購(gòu)調(diào)研在每次開(kāi)始和結(jié)束刻蝕程序后，安全蓋由手動(dòng)關(guān)閉和打開(kāi)。關(guān)閉安全蓋，開(kāi)始已經(jīng)編制好的刻蝕步驟的程序，打開(kāi)安全蓋將停止所有刻蝕步驟。所有連接到刻蝕盤(pán)的酸管路由快速對(duì)稱(chēng)壓力節(jié)點(diǎn)制成，以消除麻煩的高溫密封問(wèn)題。

型系統(tǒng)配置

掌上型鍵盤(pán)
操作簡(jiǎn)單不僅僅體現(xiàn)在RKD的軟件設(shè)計(jì)上，即軟件會(huì)持續(xù)檢查和保護(hù)系統(tǒng)防止操作失誤，而且體現(xiàn)在簡(jiǎn)單而直觀的手持式鍵盤(pán)上。只需要簡(jiǎn)單的培訓(xùn)，凡是能夠使用手機(jī)的任何人員都可以操作運(yùn)行Elite Etch開(kāi)封機(jī)。

通風(fēng)櫥的空間永遠(yuǎn)都是非常珍貴的，所以我們已經(jīng)設(shè)計(jì)了行業(yè)中小的占地面積，同時(shí)增強(qiáng)了每一個(gè)可能的安全特性。單獨(dú)的熱交換器的引入可以將廢酸溫度降低到90攝氏度以下，這允許進(jìn)一步減小系統(tǒng)尺寸---我們僅僅使用一個(gè)廢酸瓶。

預(yù)見(jiàn)未來(lái) 軟件消除了廢酸瓶溢流的危險(xiǎn)，可以防止Elite Etch在廢酸瓶沒(méi)有足夠的空間來(lái)完成編輯好的刻蝕程序時(shí)停止繼續(xù)操作。

RKD Engineering是weiyi的集成了真正的雙控制用于所有液體在瓶容器和開(kāi)封機(jī)之間進(jìn)行耦合的公司。內(nèi)部連接是在特氟龍密封的管路內(nèi)運(yùn)行的，它可以由瓶子盒的任何一端來(lái)供給。瓶子容器裝置內(nèi)包含了液體傳感器，當(dāng)酸從任何一個(gè)瓶子中泄露后都會(huì)給操作員發(fā)出警告。Elite Etch開(kāi)封機(jī)即能夠使用500ml美標(biāo)瓶子，也可以使用日本標(biāo)準(zhǔn)的瓶子。

夾具和附件
Elite Etch能夠使用所有由B&G International (現(xiàn)在是Nisene Technology Group)提供的附件包、墊片和對(duì)準(zhǔn)板。然而，為了顯著降低成本，并且永遠(yuǎn)具有設(shè)計(jì)和切割適用于每一
個(gè)和每一只器件類(lèi)型的墊片和對(duì)準(zhǔn)板的能力和優(yōu)勢(shì)，我們建議使用 RKD Engineering的μMill. 這臺(tái)Mil的操作非常簡(jiǎn)單，不需要機(jī)械工人的專(zhuān)業(yè)知識(shí)，就能夠快速的使用防酸的
AFLAS聚合物材料加工完成高質(zhì)量各種墊片。

系統(tǒng)安全
對(duì)于操作員來(lái)說(shuō)，在任何開(kāi)封機(jī)上更換酸瓶都具有一定的風(fēng)險(xiǎn)。我們已經(jīng)設(shè)計(jì)裝配了一個(gè)通用旋轉(zhuǎn)鉸鏈?zhǔn)沟酶鼡Q瓶子時(shí)沒(méi)有任何麻煩。這一通用旋轉(zhuǎn)鉸鏈的詳細(xì)結(jié)構(gòu)顯示如下。另
外，瓶子通氣系統(tǒng)可以防止酸氣進(jìn)入瓶子盒內(nèi)。

系統(tǒng)規(guī)格參數(shù)

基本規(guī)格尺寸 (w x d x h)
開(kāi)封機(jī) ####
瓶子組件 ####

重量 大約. 35 lbs.(16 Kg)
氣體壓力 55 - 70 psi. (N2) or CDA
電源 90 - 250 VAC
酸溫度范圍 20℃- 250℃
酸溫度設(shè)定值 1.0℃- 0.1℃
刻蝕腔(可高達(dá)) 22 x 22 mm

軟件操作規(guī)格
酸的選擇 ：發(fā)煙硫酸/發(fā)煙硝酸/混酸
注意: 所有混合比例都是在泵系統(tǒng)內(nèi)部動(dòng)態(tài)準(zhǔn)備的。

混酸比例 (硝酸到硫酸比例)： ####

刻蝕后沖洗選擇：發(fā)煙硫酸/發(fā)煙硝酸/混酸/無(wú)沖洗
注意: 酸的沖洗溫度設(shè)定是根據(jù)刻蝕溫度自動(dòng)校準(zhǔn)的。

刻蝕時(shí)間：#### seconds ( 1秒的增加幅度)
注意: 刻蝕時(shí)間能夠在刻蝕期間動(dòng)態(tài)調(diào)整。

刻蝕形式 -
(i) 脈沖刻蝕
(ii) 往復(fù)刻蝕 – 酸脈動(dòng)

刻蝕溫度范圍
20℃- 90℃ (硝酸)
20 - 250℃(硫酸)
20 - 100℃ (混酸)

刻蝕劑流量選擇 -
1 - 6 ml.每分鐘（所有酸和混酸）

操作程序存儲(chǔ) -
100 個(gè)程序存儲(chǔ)，非易丟失存儲(chǔ)器

軟件升級(jí)
通過(guò)RS232或USB連接電腦

安全設(shè)計(jì)特點(diǎn)
EMO緊急停電源開(kāi)關(guān)

刻蝕頭安全：超溫保護(hù)傳感器電路

泄露檢查傳感器： (i) 開(kāi)封機(jī)主體；(ii) 酸瓶盒組件

二級(jí)防護(hù)：真正的二級(jí)防護(hù)

酸煙霧降低：廢酸熱交換以小化酸煙霧

認(rèn)證和 &行業(yè)規(guī)范

RoHS
CE
SEMI S-2
SEMI S- 2, 93

系統(tǒng)維護(hù)
Elite Etch的日常系統(tǒng)維護(hù)是非常簡(jiǎn)單并且是自執(zhí)行的。通過(guò)從手持鍵盤(pán)控制器上選擇維護(hù)程序，大多數(shù)的維護(hù)程序都可以運(yùn)行，包括 -

溫度校準(zhǔn)
光學(xué)傳感器校準(zhǔn)
閥的操作
壓鼻操作
低溫氣體供應(yīng)和排出功能
(Elite Etch從不使用高或低壓調(diào)壓閥，它僅需直接連接到氮?dú)夤苈飞稀?