產品使用范圍:
勻膠機可以將液態或膠體材料涂覆在硅片、晶體、石英、陶瓷等基片上形成薄膜,主要應用 于光刻膠旋涂、生物培養基制作、溶膠凝膠法制作高分子薄膜等領域。
技術參數:
旋涂儀 | 供電電壓 | AC220V,50Hz | 操作方式 | 按鍵+液晶屏 |
轉速 | 0~8000rpm | 滴膠方式 | 手動滴膠,可選購精密注射泵 | |
加速度 | 100~5000rpm/s | 勻膠曲線 | 每條曲線5段,共可儲存5條曲線 | |
轉速分辨率 | 1rpm | 抽氣接口 | φ6mm快擰接口 | |
單步時間 | 3000s | 整機尺寸 | 210mm×250mm×180mm | |
基片尺寸 | 直徑≤4英寸(100mm) | 整機重量 | 8kg | |
腔體材質 | PP腔體 | |||
排氣系統 | 真空泵 | 干式機械泵 | ||
抽氣速率 | 50L/min | |||
供電電源 | AC220V 50/60Hz | |||










































