批次真空訂制腔體 返回列表頁

批次式（Batch type）設備的腔體形狀及尺寸不一，例如要求冷卻效果而設計的雙層腔體，為了提升產能而設計的雙門腔體，其他如真空度要求、成膜方式、制程氣體種類及基板材質等都會影響真空腔體的設計，Htc日揚科技可以配合客戶需求并提供相關參考經驗達到真空腔體設計的*化。

Htc日揚科技制造的Batch type Chambers應用在：液晶注入機、車燈鍍膜機、刀具鍍膜設備、矽晶長晶設備、電漿清洗設備、真空排氣系統、晶圓檢測設備、軟板制程傳輸設備、卷繞式鍍膜機、真空加熱設備及薄膜太陽能電池鍍膜設備